Verfahren zur Effizienten Dynamischen Abtastplanerzeugung und Genauen Sondenchipverlustprojektion

EP4695654 Art A1 18. Februar 2026

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4695654
Aktenzeichen: EP24714819
Anmeldetag: 14. März 2024
Veröffentlichung: 18. Februar 2026
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von