Kontextbasierte Metrologieeinleitung für Verbesserte Leistung von Computergestützter Abtastung

EP4705833 Art A1 11. März 2026

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4705833
Aktenzeichen: EP24717663
Anmeldetag: 4. April 2024
Veröffentlichung: 11. März 2026
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/00G01N21/95G06N20/00H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

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