Verfahren zur Kalibrierung, Vorhersage und Steuerung Stochastischer Defekte in der Euv-Lithographie
EP4705835
Art A1
11. März 2026
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4705835
- Aktenzeichen
- EP24873432
- Anmeldetag
- 25. September 2024
- Veröffentlichung
- 11. März 2026
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/00G06N7/01
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908 Patente in unserer Datenbank