Systeme und Verfahren zur Optimierung der Abtastung von Proben in Inspektionssystemen

EP4706071 Art A1 11. März 2026

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4706071
Aktenzeichen: EP24720788
Anmeldetag: 17. April 2024
Veröffentlichung: 11. März 2026
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/26H01J37/28H01J37/304H01J37/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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