Höhenmesssystem für Elektronenstrahlmetrologiewerkzeug
EP4706085
Art A1
11. März 2026
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4706085
- Aktenzeichen
- EP24797646
- Anmeldetag
- 4. April 2024
- Veröffentlichung
- 11. März 2026
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/67H01J37/147H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908 Patente in unserer Datenbank