Sockelschaftkühlsystem

EP4706088 Art A1 11. März 2026

Anmelder: LAM Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4706088
Aktenzeichen: EP24803984
Anmeldetag: 2. Mai 2024
Veröffentlichung: 11. März 2026
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/687H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von