Vorrichtung zur Messung der Masse Und/oder der Masseänderung eines Gegenstandes

EP4716831 28. November 2024

Anmelder: Lam Research Corporation, Metryx Ltd. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4716831
Anmeldetag
16. April 2024
Veröffentlichung
28. November 2024
Rechtsraum
EP
IPC
G01G7/02
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Lam Research Corporation
Metryx Ltd.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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