Vorrichtung zur Messung der Masse Und/oder der Masseänderung eines Gegenstandes
EP4716831
28. November 2024
Anmelder: Lam Research Corporation, Metryx Ltd. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4716831
- Anmeldetag
- 16. April 2024
- Veröffentlichung
- 28. November 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01G7/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Lam Research Corporation
Metryx Ltd. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
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Fachgebiete
Vertreten von
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Mewburn Ellis LLP
Mewburn Ellis LLP · München