Diagnosesubstrat, Pockelssensor und Verfahren zur Ladungsbestimmung
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4718157
- Anmeldetag
- 30. September 2024
- Veröffentlichung
- 1. April 2026
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/00, G01R29/24, G01R15/24
Abstract
A diagnostic substrate, such as a wafer or reticle, is disclosed for use in determination of a charge on a surface of an electrostatic clamp configured to support the diagnostic substrate, the substrate comprising a stack of: a dielectric light reflector layer, an electro-optic crystal layer, and a transparent electrode layer. The electro-optic crystal layer is between the dielectric light reflector layer and the transparent electrode layer. A Pockels sensor may comprise the diagnostic substrate.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
-
ASML Netherlands B.V.