Resistzusammensetzung und Verfahren zur Strukturformung
EP4722811
28. November 2024
Anmelder: TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4722811
- Anmeldetag
- 23. Mai 2024
- Veröffentlichung
- 28. November 2024
- Rechtsraum
- EP
Abstract
To provide a novel resist composition containing (A) a resin component whose solubility in a developer changes by the action of an acid and (B) a polyacid salt, and to provide a pattern forming method thereof.
Anmelder
- Firma
- TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Ohka Kogyo
Tokyo Ohka Kogyo (TOK) ist ein japanischer Chemiekonzern, der vor allem Fotolacke und Materialien für die Halbleiterfertigung herstellt. Das Portfolio konzentriert sich entsprechend auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter- und Bauelemente-Technik, ergänzt durch Kunststoff- und organische Chemie. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.
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Vertreten von
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Plasseraud IP · Paris