Verfahren zur Vorwärtsgekoppelten Korrektur und Computerprogramm zur Vorwärtsgekoppelten Korrektur
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4730036
- Anmeldetag
- 17. Oktober 2024
- Veröffentlichung
- 22. April 2026
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20(ASML HOLDING NV et al.)
Abstract
A method of feed-forward correction comprising: determining feed-forward corrections based on measurements on a patterning device of a lithographic apparatus of a deformation parameter indicative of deformation of the patterning device before and after exposure by the lithographic apparatus of a substrate of a first series of substrates, wherein the feed-forward corrections are to be applied during exposure by the lithographic apparatus of a substrate of a second series of substrates.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Vertreten von
-
ASML Netherlands B.V
ASML Netherlands B.V · Veldhoven