Mems-Spiegel mit Reduzierter Verformung

EP4733825 29. April 2026

Anmelder: Murata Manufacturing Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4733825
Anmeldetag: 28. Oktober 2024
Veröffentlichung: 29. April 2026
Rechtsraum: EP
IPC: G02B26/08(GRASSHOFF THOMAS et al.)

Abstract

A MEMS mirror device comprising a reflector, a support structure and a first suspension structure, the first suspension structure allows the reflector to rotate about a rotation axis. Stiffening springs extend from the support structure to the reflector. Each stiffening spring comprises one or more folds in the support plane.

Anmelder

Firma: Murata Manufacturing Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Murata Manufacturing

Japanisches Elektronikunternehmen mit Sitz in Kyoto. Murata entwickelt und produziert elektronische Bauelemente wie Kondensatoren, Sensoren und Kommunikationsmodule für Elektronikgeräte.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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