Verfahren zur Herstellung von Siliziumbauteilen
EP4738021
6. Mai 2026
Anmelder: Sigatec SA 🇨🇭
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4738021
- Anmeldetag
- 5. November 2024
- Veröffentlichung
- 6. Mai 2026
- Rechtsraum
- EP
Abstract
La présente invention se rapporte à un procédé de fabrication de composants horlogers (1) en silicium, où l'on fournit un substrat dans lequel on grave les composants (1), on désoxyde le substrat ainsi gravé dans un bain d'acide liquide, on réoxyde thermiquement le substrat, puis on le désoxyde une nouvelle fois par gravure à l'acide en phase vapeur.
Anmelder
- Firma
- Sigatec SA
- Land
- 🇨🇭 Schweiz