Scrollvakuumpumpe und Ihr Betriebsverfahren

EP4741661 13. Mai 2026

Anmelder: Pfeiffer Vacuum Technology AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4741661
Anmeldetag
31. Mai 2024
Veröffentlichung
13. Mai 2026
Rechtsraum
EP
IPC
F04C27/00(EDWARDS LTD et al.)(SCHOFIELD NIGEL PAUL et al.)
Offizieller Volltext

Abstract

Die Erfindung betrifft unter anderem eine Scrollvakuumpumpe mit einem Pumpsystem, das ein feststehendes Spiralbauteil und ein mit diesem pumpwirksam zusammenwirkendes bewegliches Spiralbauteil umfasst, einer im Betrieb um eine Drehachse rotierenden Antriebswelle mit einem Exzenterabschnitt zum Antreiben des beweglichen Spiralbauteils, und einem elektrischen Antriebsmotor für die Antriebswelle, wobei zwischen den beiden Spiralbauteilen ein Axialspaltmaß vorhanden ist, und wobei ein Stellmittel vorgesehen ist, das dazu ausgebildet ist, das Axialspaltmaß einzustellen.

Anmelder

Firma
Pfeiffer Vacuum Technology AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Pfeiffer Vacuum

Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.

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