Verfahren zur Bestimmung einer Leistungsparameterverteilung
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4741926
- Anmeldetag
- 7. November 2024
- Veröffentlichung
- 13. Mai 2026
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20(ASML NETHERLANDS BV et al.)(MOSSAVAT SEYED IMAN et al.)
Abstract
Provided is a method of determining a performance parameter comprising determining a plurality of regions on a substrate; determining a plurality of performance parameter estimation models corresponding to the plurality of regions; determining performance parameter estimation model parameters for the plurality of performance parameter estimation models and applying at least one of the plurality of performance parameter estimation models with the determined model parameters to determine the performance parameter for the corresponding region of the plurality of regions.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
-
ASML Netherlands B.V
ASML Netherlands B.V · Veldhoven