Polierwerkzeug und Zugehörige Verfahren

EP4743259 16. Januar 2025

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4743259
Anmeldetag
11. Juni 2024
Veröffentlichung
16. Januar 2025
Rechtsraum
EP
IPC
B24B41/047, B24B7/07, B24B7/24
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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