Dämpferkomponente mit Begrenzter Schicht
EP4749155
27. Mai 2026
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4749155
- Anmeldetag
- 26. November 2024
- Veröffentlichung
- 27. Mai 2026
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F16F9/30
Abstract
Disclosed is a constrained layer damper component, comprising: a base layer having a lower surface and an upper surface; a constraining layer; a viscoelastic layer positioned between the base layer and the constraining layer; and a weakening feature arranged to provide a localized portion of the constrained layer damper component having a reduced bending stiffness compared to remaining portions of the constrained layer damper component.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Vertreten von
-
ASML Netherlands B.V
ASML Netherlands B.V · Veldhoven