Verfahren zur Kontrollierten Abscheidung einer Nitridschicht eines Zielnitrids auf einem Substrat in einem Tle-System und Tle-System
EP4754306
20. März 2025
Anmelder: Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften E.V. 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4754306
- Anmeldetag
- 14. September 2023
- Veröffentlichung
- 20. März 2025
- Rechtsraum
- EP
Abstract
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Anmelder
- Firma
- Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften E.V.
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
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Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Die Max-Planck-Gesellschaft betreibt zahlreiche Institute für Grundlagenforschung in Natur-, Geistes- und Sozialwissenschaften.
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