Ptychographisches Bildgebungsverfahren und -System

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP4756511

Anmeldetag

1. Dezember 2025

Veröffentlichung

10. Juni 2026

Rechtsraum

EP

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Bildgebungsverfahren und ein Bildgebungssystem zur Durchführung dieses Verfahrens. Aufgabe der Erfindung ist es, ein verbessertes multispektrales ptychographisches Bildgebungsverfahren und ein entsprechendes System bereitzustellen. Hierzu weist das Bildgebungsverfahren der Erfindung die folgenden Verfahrensschritte auf: Erzeugung von zumindest teilkohärenter elektromagnetischer Strahlung (3), die spektrale Komponenten bei zumindest zwei verschiedenen Wellenlängen enthält; räumliche Trennung der spektralen Komponenten der elektromagnetischen Strahlung, insbesondere per Winkeldispersion; Erzeugen strukturierter Beleuchtungsstrahlen (9) durch Selektieren jeweils einer der spektralen Komponenten mittels einer strukturierten Apertur (8a, 8b, 8c); Bewegen eines Objektes (6) in Richtung quer zum Verlauf der Beleuchtungsstrahlen (9) in eine Mehrzahl von Positionen; Detektieren eines Intensitätsmuster für jede der Positionen, wobei die Intensitätsmuster durch Streuung und/oder Beugung der Beleuchtungsstrahlen (9) an dem Objekt (6) in einer Detektionsebene erzeugt werden; und Rekonstruieren eines Bildes des Objektes (6) aus den detektierten Intensitätsmustern, wobei für jede der zumindest zwei Wellenlängen ein Bild des Objektes (6) mittels eines ptychographischen Rekonstruktionsalgorithmus berechnet wird.

Anmelder

Firma

GSI Helmholtzzentrum für Schwerionenforschung GmbH

Land

🇩🇪 Deutschland