Spiegel für eine Beleuchtungsoptik einer Projektionsbelichtungsanlage mit einem Gitterstruktur und Verfahren zur Herstellung eines Spektralfilters
EP4756534
10. Juni 2026
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4756534
- Anmeldetag
- 25. November 2019
- Veröffentlichung
- 10. Juni 2026
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
A mirror for an illumination optical unit (4) of a projection exposure apparatus (1) comprises a spectral filter in the form of a grating structure (30), wherein the grating structure (30) has a maximum edge steepness (b) in the range of 15° to 60°.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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