Verfahren und Vorrichtung zum Spülen einer Abtragsfront
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4759474
- Anmeldetag
- 19. August 2025
- Veröffentlichung
- 17. Juni 2026
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B23K26/55
Abstract
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Spülen einer Abtragsfront (4) an einer durch materialabtragende Bearbeitung gebildeten Hohlstruktur (2) in einem Werkstück, bevorzugt in einem Substrat für einen EUV-Spiegel, umfassend: Zuführen eines Fluids (6) zu der Abtragsfront (4) mittels einer bevorzugt flexiblen Fluidzuführung (7). Bei dem Verfahren weist die Fluidzuführung (7) zum Zuführen des Fluids (6) zu der Abtragsfront (4) und/oder zum Abführen des Fluids (6) von der Abtragsfront (4) mindestens eine in mindestens einer Raumrichtung periodische Außenstruktur, bevorzugt eine helixförmige Außenstruktur (9a,b) auf. Die Erfindung betrifft auch eine zugehörige Vorrichtung zum Spülen einer Abtragsfront (4).
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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