Behälter für Wafer von Mikroelektronischen Vorrichtungen, Anordnung und Anlage mit einem Solchen Behälter
Anmelder: COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES, 3SUN S.r.l 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4761556
- Anmeldetag
- 9. Dezember 2025
- Veröffentlichung
- 17. Juni 2026
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H10P72/30, H10P72/10
Abstract
L'invention concerne un réceptacle pour accueillir un empilement de plaquettes de dispositif(s) microélectronique(s) ou de cellule(s) solaire(s), comportant un support de fond (22) sur lequel une ou plusieurs plaquettes sont destinées à être empilées et un ou plusieurs montants (23, 24) reliés audit support de fond (22), lesdits un ou plusieurs montants (23, 24) s'étendant selon une première direction sensiblement perpendiculaire à un plan principal du support de fond (22) et étant répartis en périphérie du support de fond (22) pour délimiter une zone de réception des plaquettes et guider les plaquettes. Un montant donné parmi lesdits montants du réceptacle comporte un conduit de gaz (45, 46) apte à être raccordé à une source d'alimentation en gaz, en particulier de l'air sous pression, et une buse de soufflage (31, 32, 34) configurée pour diriger un flux de gaz émanant dudit conduit vers la zone de réception.
Anmelder
- Firmen
- COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES
3SUN S.r.l - Land
- 🇫🇷 Frankreich
Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.
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Vertreten von
-
Santarelli