Metrologiewerkzeug und Komponenten dafür
Anmelder: ASML Netherlands B.V., Technische Universiteit Eindhoven 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4764700
- Anmeldetag
- 19. Dezember 2024
- Veröffentlichung
- 24. Juni 2026
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/00, G02B6/12
Abstract
An optical coupler for a photonic integrated circuit comprising a first channel waveguide configured to guide electromagnetic radiation comprising a first wavelength. The optical coupler comprises a second channel waveguide configured to guide electromagnetic radiation comprising a second wavelength that is different to the first wavelength. The optical coupler comprises a slab waveguide optically coupled to the first and second channel waveguides and configured to guide electromagnetic radiation comprising both the first and second wavelengths. The optical coupler comprises a computer generated waveguide hologram optically coupled to the slab waveguide. The optical coupler comprises a metasurface optically coupled to the computer generated waveguide hologram.
Anmelder
- Firmen
- ASML Netherlands B.V.
Technische Universiteit Eindhoven - Land
- 🇳🇱 Niederlande
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Die Technische Universiteit Eindhoven ist eine niederländische Technische Hochschule mit breiter Forschung in Medizintechnik, Halbleitertechnik und Materialwissenschaften. Ihr Patentportfolio deckt Medizintechnik, Halbleiterbauelemente, Mess- und Softwaretechnik ab.
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Vertreten von
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ASML Netherlands B.V · Veldhoven