Verfahren zur Verspannung von Halbleiterbereichen durch Kontrolle des Flusses einer Eingeschlossenen Oxidschicht
Anmelder: COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4766082
- Anmeldetag
- 18. Dezember 2025
- Veröffentlichung
- 24. Juni 2026
- Rechtsraum
- EP
Abstract
Réalisation d'un dispositif à régions semi-conductrices contraintes (12a, 12b, 12c, 120b, 120c, 220a, 220d) comprenant :a) revêtir une couche semi-conductrice (12) d'un substrat de type semiconducteur sur isolant, d'une couche (30) de mise en contrainte en un matériau amorphe ayant une contrainte intrinsèque en tension, puisb) former dans la couche (30) de mise en contrainte, au moins une ouverture (33 ; 233<sub>1</sub>, 233<sub>2</sub>) en regard d'une première région semi-conductrice (12a ; 220a, 220d) de ladite couche semi-conductrice puis,c) effectuer un recuit de fluage selon une durée et une température adaptées pour permettre le fluage de la couche isolante (11) du substrat et mettre sous tension la première région semi-conductrice.
Anmelder
- Firma
- COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.
8.392 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
-
Santarelli
Santarelli · Paris La Défense