Verfahren zur Isolierung in einer Mikroelektronischen Vorrichtung
Anmelder: COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4766091
- Anmeldetag
- 19. Dezember 2025
- Veröffentlichung
- 24. Juni 2026
- Rechtsraum
- EP
Abstract
L'invention concerne un dispositif microélectronique comprenant une isolation entre une première région (1000a) et une deuxième région (1000b). Le dispositif comprend un empilement (1) comprenant un substrat semiconducteur (10), une couche d'oxyde enterré (20), et une couche mince (30). L'empilement (1) comprend une première région (1000a) et une deuxième région (2000b) séparées par une zone d'isolation (1000). La zone d'isolation (1000) comprend un espaceur (200) isolant s'étendant sur des flancs internes (1a, 1b) de l'empilement (1), une couche épitaxiée (300) s'étendant entre les flancs internes (1a, 1b) de l'empilement (1), une couche séparatrice (400) isolante, s'étendant sur la couche épitaxiée (300), et un motif électriquement conducteur (500) s'étendant sur la couche séparatrice (400).
Anmelder
- Firma
- COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.
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