Ausserhalb der Ebene Abbildender Modus für eine Laserphasenplatte
EP4769475
1. Juli 2026
Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4769475
- Anmeldetag
- 22. Dezember 2025
- Veröffentlichung
- 1. Juli 2026
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/26
Abstract
Phase contrast images in a charged-particle beam system are obtained by directing a CPB as modulated by a sample to a phase plate to have a diffraction plane that is displaced from the phase plate. Based on interference fringes in the images, a transverse displacement of the CPB with respect to the phase plate can be estimated and adjusted.
Anmelder
- Firma
- FEI COMPANY
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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