Spülgas- Laminarflussdesign und mit Spezifischem Muster für die Laserverarbeitung
Anmelder: II-VI Delaware, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4773792
- Anmeldetag
- 1. Dezember 2025
- Veröffentlichung
- 8. Juli 2026
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H10P34/42
Abstract
This disclosure describes systems and methods for designing a wafer annealing chamber that combines laminar or near laminar purge gas flows across the wafer, higher flow and pressure in the upper portion of the chamber, and a specific progression of the lasing pattern relative to the purge gas laminar flow direction.
Anmelder
- Firma
- II-VI Delaware, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
US-amerikanisches Unternehmen, das optische Komponenten, Laser und Halbleiterbauteile für Telekommunikation, Industrie und Sensorik entwickelt, Teil von Coherent.
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Fachgebiete
Geht auf die 1992 gegründete Kanzlei Dr. Volker Vossius zurück, firmiert seit 2015 als Zwicker Schnappauf & Partner, mit Standorten in München und Berlin. Schwerpunkt auf Biotechnologie, Chemie, Medizintechnik und Pharmazie, Website in sechs Sprachen abrufbar.