Echtzeit-Rezeptabstimmung für ein Inspektionssystem

EP4778024 20. März 2025

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4778024
Anmeldetag
13. August 2024
Veröffentlichung
20. März 2025
Rechtsraum
EP
IPC
G06T7/00, G06V10/82, G06V20/52
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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