Detektion Elektrostatischer Entladungen in einem Belichtungsgerät

EP4779402 22. Juli 2026

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4779402
Anmeldetag: 17. Januar 2025
Veröffentlichung: 22. Juli 2026
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/00

Abstract

A detection system for use in an exposure apparatus comprises at least two radio frequency receivers (ANT) configured to receive signals in the exposure apparatus. The detection system further comprises a signal processing unit (SPU) comprising a software defined radio (SDR) configured to process the received signals. The signal processing unit (SPU) is further configured to determine an occurrence of a discharge of charged particles in the exposure apparatus from the processed signals.

Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Optik & Fototechnik

Vertreten von