Vakuumpumpe und Verfahren zum Wuchten eines Rotors einer Vakuumpumpe

EP4782697 29. Juli 2026

Anmelder: Pfeiffer Vacuum Technology AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4782697
Anmeldetag
27. Mai 2026
Veröffentlichung
29. Juli 2026
Rechtsraum
EP
Offizieller Volltext

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, mit - einem Einlass, - einem Auslass, - einem in einer Pumprichtung vom Einlass zum Auslass wirksamen Pumpsystem, das einen Rotorelemente umfassenden Rotor und mit den Rotorelementen während des Betriebs pumpwirksam zusammenwirkende Statorelemente aufweist, und einen elektrischen Antriebsmotor, der den Rotor im Betrieb in Drehung um eine Drehachse versetzt, wobei zumindest ein fest an dem Rotor angeordnetes, separates Wuchtelement vorgesehen ist, das einen aus einem Wuchtmaterial gebildeten Wuchtbereich umfasst und das für ein Beseitigen einer Unwucht des Rotors durch selektives Abtragen von Wuchtmaterial von dem Wuchtbereich vorgesehen ist, wobei der Wuchtbereich und/oder das Wuchtelement - in einer axialen Sicht - kreis- oder ringförmig ausgestaltet ist.

Anmelder

Firma
Pfeiffer Vacuum Technology AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Pfeiffer Vacuum

Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.

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