Turbomolekularpumpe

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP4782698

Anmeldetag

5. Juni 2026

Veröffentlichung

29. Juli 2026

Rechtsraum

EP

IPC

F04D19/04, F04D27/02

Abstract

Eine Turbomolekularpumpe umfasst einen Rotor, einen Elektromotor, der mit dem Rotor gekoppelt ist und den Rotor während des Betriebs der Turbomolekularpumpe antreibt, und eine Steuereinheit, die mit dem Elektromotor gekoppelt ist. Die Steuereinheit ist ausgebildet, den Elektromotor während einer Auslaufphase des Rotors in einem regenerativen Modus zu betreiben, in welchem der Elektromotor den Rotor mit einer veränderbaren Bremsleistung abbremst, eine Referenztemperatur an mindestens einer für die Auslaufphase relevanten Position zu erfassen und die veränderbare Bremsleistung in Abhängigkeit von der Referenztemperatur zu regeln.

Anmelder

Firma

Pfeiffer Vacuum Technology AG

Land

🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete