Systeme und Verfahren zur Kontaktlosen Messung von Energiebarrieren Während der Vorrichtungsherstellung

EP4785380 3. April 2025

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4785380
Anmeldetag
26. August 2024
Veröffentlichung
3. April 2025
Rechtsraum
EP
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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