Verfahren zur Herstellung von Mikrostrukturen

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP4786409

Anmeldetag

27. Januar 2026

Veröffentlichung

5. August 2026

Rechtsraum

EP

IPC

B81C1/00

Abstract

L'invention concerne un procédé de fabrication de microstructures. On fournit tout d'abord un substrat (10), le substrat (10) présentant une face supérieure (11) s'étendant principalement parallèlement à un plan dit plan principal (XY). On réalise ensuite une gravure du substrat (10) à partir de sa face supérieure (11) de manière à former au moins un plot (100) dans le substrat (10), le plot (100) présentant, en projection dans le plan principal (XY), une première surface S100. On réalise ensuite une électro-gravure de l'au moins un plot (100) de sorte à former un pilier (1000), le pilier (1000) présentant, en projection dans le plan principal (XY), une deuxième surface S1000, avec S1000<S100.

Anmelder

Firma

Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives

Land

🇫🇷 Frankreich