Vakuumpumpe und Verfahren zum Verstellen der Axialen Position eines Magnetlagerstators einer Vakuumpumpe

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP4786794

Anmeldetag

11. Juni 2026

Veröffentlichung

5. August 2026

Rechtsraum

EP

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, mit- einem axialen Einlass für ein zu pumpendes Gas,- zumindest einer Pumpstufe, die einen Stator und einen im Betrieb relativ zum Stator um eine Drehachse rotierenden Rotor umfasst, und- zumindest einem Magnetlager für den Rotor, insbesondere für einen einlassnahen Endbereich des Rotors, das einen Magnetlagerrotor und einen mit diesem zusammenwirkenden Magnetlagerstator umfasst, die jeweils einen Stapel aus mehreren Permanentmagnetringen aufweisen,wobei der Magnetlagerrotor am Rotor und der Magnetlagerstator an einem Halter des Stators angeordnet ist, und wobei der Magnetlagerstator ein Stellelement umfasst, das zum Einstellen der axialen Position des Magnetlagerstators um die Drehachse verdrehbar ist, wobei das Stellelement mit einer Eingriffsstruktur, insbesondere einem Mehrkantprofil oder einer Verzahnung, versehen ist, wobei die Eingriffsstruktur sich radial nach außen verjüngende Eingriffselemente aufweist, die in radialer Richtung über die Permanentmagnetringe hinaus vorstehen. Die Erfindung betrifft außerdem zwei Verfahren zum Verstellen einer axialen Position eines Magnetlagerstators einer Vakuumpumpe.

Anmelder

Firma

Pfeiffer Vacuum Technology AG

Land

🇩🇪 Deutschland