Facettenspiegel für eine als Erster Facettenspiegel Einsetzbare Beleuchtungsoptik für die Projektionslithographie

EP4789069 10. April 2025

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4789069
Anmeldetag: 17. September 2024
Veröffentlichung: 10. April 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20, G02B26/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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