Fehlererkennung aus einer Scan-Elektronenmikroskop-Basierten Tiefenkarte mit Neuronalem Netzwerk und Defektstärkenschwellen

EP4789166 10. April 2025

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4789166
Anmeldetag: 27. September 2024
Veröffentlichung: 10. April 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G06T7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

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