Verfahren zur Beschichtung eines Bauteils eines Lithographischen Apparats
EP4790166
12. August 2026
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4790166
- Anmeldetag
- 10. Februar 2025
- Veröffentlichung
- 12. August 2026
- Rechtsraum
- EP
Abstract
A method for applying a conductive coating to a component of a lithographic apparatus, comprising: providing a carrier member in the lithographic apparatus, wherein a precursor material is disposed on the carrier member facing the component, heating the carrier member to form a vapor of the precursor material, condensing the precursor vapor onto the component to form the conductive coating.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
5.380 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
-
ASML Netherlands B.V
ASML Netherlands B.V · Veldhoven