Plattfrom zur Chipplatzierung
EP4790744
12. August 2026
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4790744
- Anmeldetag
- 10. Februar 2025
- Veröffentlichung
- 12. August 2026
- Rechtsraum
- EP
Abstract
A stage for die placement comprises a support member; a movable member that is movable relative to the support member, wherein the movable member is configured to hold at least one die; and an actuator configured, on actuation, to move the movable member relative to the support member in six degrees of freedom.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
5.380 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
-
ASML Netherlands B.V
ASML Netherlands B.V · Veldhoven