Verbindungswerkzeug
EP4790746
12. August 2026
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4790746
- Anmeldetag
- 11. Februar 2025
- Veröffentlichung
- 12. August 2026
- Rechtsraum
- EP
Abstract
A bonding tool comprises: a frame; a stage coupled to the frame, wherein the stage comprises a movable member configured to move relative to the frame such that an actuation force applied to the movable member causes a reaction force; and a balance mechanism configured to at least partly counteract the reaction force caused by the actuation force applied to the movable member.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
5.380 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
-
ASML Netherlands B.V
ASML Netherlands B.V · Veldhoven