Akustischer Volumenwellenfilter

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP4794198

Anmeldetag

3. Februar 2026

Veröffentlichung

19. August 2026

Rechtsraum

EP

Abstract

La présente description concerne un procédé de fabrication d'un filtre (400) à ondes acoustiques de volume comprenant les étapes successives suivantes :a) prévoir un substrat semiconducteur (103) ;b) former des première (105C) et deuxième (405) cavités d'air enterrées dans le substrat semiconducteur (103), la première cavité d'air (105C) étant interposée entre la deuxième cavité d'air et une face (103T) supérieure du substrat semiconducteur (103) et présentant des dimensions latérales inférieures à celles de la deuxième cavité d'air ; etc) amincir le substrat semiconducteur (103) par formation de tranchées (105P) entourant la première cavité d'air (105C) et débouchant dans la deuxième cavité d'air.

Anmelder

Firma

STMicroelectronics International N.V.

Land

🇨🇭 Schweiz