Vakuumpumpe

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP4796790

Anmeldetag

15. Juli 2026

Veröffentlichung

26. August 2026

Rechtsraum

EP

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, mit einem Gehäuse und einem in dem Gehäuse aufgenommenen Pumpsystem, das einen Stator und einen im Betrieb relativ zum Stator um eine Drehachse rotierenden Rotor umfasst. Die Vakuumpumpe umfasst ferner einen elektrischen Antriebsmotor für den Rotor, der den Rotor im Betrieb in Drehung um die Drehachse versetzt, ein Lager, insbesondere ein Wälzlager, für den Rotor, eine in dem Gehäuse angeordnete und das Lager aufnehmende, insbesondere das Lager radial und axial stützende, Lagerfassung, und eine zwischen der Lagerfassung und dem Gehäuse wirksame Einrichtung zur Schwingungsdämpfung, die insbesondere von einem oder mehreren, jeweils axial oder radial angeordneten Ringelementen aus einem elastisch verformbaren Material, insbesondere einem Elastomer- oder Silikonmaterial, gebildet ist. Die Vakuumpumpe zeichnet sich dadurch aus, dass zwischen der Lagerfassung und dem Gehäuse oder innerhalb der Lagerfassung eine Einrichtung zur Wärmekopplung wirksam ist, die zusätzlich zu der Einrichtung zur Schwingungsdämpfung vorgesehen ist.

Anmelder

Firma

Pfeiffer Vacuum Technology AG

Land

🇩🇪 Deutschland