Regenerator für Organisches Lösungsmittel, Substratverarbeitungssystem und Verfahren zur Regenerierung eines Organischen Lösungsmittels

EP4799716 2. September 2026

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4799716
Anmeldetag
4. Februar 2026
Veröffentlichung
2. September 2026
Rechtsraum
EP
IPC
B01D61/36
Offizieller Volltext

Abstract

An organic solvent regenerator includes a collection tank, an exhaust pipe, an exhaust valve, a circulator, a separation pipe, and a controller. An organic solvent and water flow into the collection tank through a collection pipe. The exhaust pipe in which the exhaust valve is disposed is connected to the collection tank. The controller opens the exhaust valve during at least a part of an inflow period in which at least one of the water and the organic solvent flows into the collection tank through the collection pipe, and closes the exhaust valve during at least a part of a separation operation period in which a separation operation of causing the circulator to circulate the mixed liquid and separating the water from the mixed liquid is performed.

Anmelder

Firma
SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

1.641 Patente in unserer Datenbank

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen