Bearbeitungssystem, Inkrementales Lagemesssystem, Positioniersystem, Projektionssystem
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4803853
- Anmeldetag
- 6. März 2025
- Veröffentlichung
- 9. September 2026
- Rechtsraum
- EP
Abstract
The invention provides a processing system for an incremental position measurement system arranged to determine a position of a movable object, wherein the processing system comprises an input to receive, from an incremental measurement device of the incremental position measurement system, a signal representative for a position of the movable object, wherein the processing system is arranged to determine a velocity dependent cyclic error value and/or a velocity dependent correction value of the incremental position measurement system based on the signal and a velocity of the movable object.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Vertreten von
-
ASML Netherlands B.V
ASML Netherlands B.V · Veldhoven