Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Nanostrukturen und Zugehörige Struktur

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP4810648

Anmeldetag

21. März 2025

Veröffentlichung

23. September 2026

Rechtsraum

EP

Abstract

Offenbart wird ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Herstellung einer Nanostruktur durch Materialabscheidung auf einem Substrat (10), bei dem eine Schattenmaske (15) verwendet wird, um mindestens einen Bereich (11) zu begrenzen, an dem Quellmaterial (1, 2, 3, 4) abgeschieden wird. Das Verfahren umfasst ein Abscheiden eines ersten Quellmaterials (1) mittels einer ersten Materialquelle (6), wobei die erste Materialquelle (6) in einer Abscheidungsposition (20) relativ zum Substrat (10) angeordnet ist, ein Durchführen einer Relativbewegung (27) zwischen der ersten Materialquelle (6) und/oder einer zweiten Materialquelle (7) einerseits und dem Substrat (10) andererseits derart, dass die zweite Materialquelle (7) in der Abscheidungsposition (20) relativ zum Substrat (10) angeordnet wird, und ein Abscheiden eines zweiten Quellmaterials (2) mittels der zweiten Materialquelle (7) auf dem abgeschiedenen ersten Quellmaterial (1). Es können somit auch mehrere Quellmaterialien selektiv abgeschieden werden, die mit herkömmlichen Verfahren nicht gemeinsam selektiv gewachsen werden können.

Anmelder

Firma

Forschungszentrum Jülich GmbH

Land

🇩🇪 Deutschland