Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung einer Nanostruktur und Zugehörige Struktur

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP4810649

Anmeldetag

21. März 2025

Veröffentlichung

23. September 2026

Rechtsraum

EP

Abstract

Offenbart wird ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Herstellung einer Struktur durch Materialabscheidung auf einem Substrat sowie eine resultierende Struktur. Bei dem Verfahren wird auf einem Substrat (10) mittels einer Schattenmaske (15) abgeschieden, um mindestens einen Bereich (11) zu begrenzen, an dem Quellmaterial abgeschieden wird, wobei eine weitere Maske (16) verwendet werden kann, um mindestens den Bereich (11) zu begrenzen, an dem Quellmaterial abgeschieden wird. Das Verfahren umfasst ein Bewegen eines ersten Quellmaterials mittels einer ersten Materialquelle (6) durch die Schattenmaske (15) und Abscheiden des ersten Quellmaterials in dem Bereich (11), wobei die erste Materialquelle (6) in einer ersten Position (21) relativ zum Substrat (10) angeordnet ist, und ein Bewegen eines zweiten Quellmaterials mittels einer zweiten Materialquelle (7), gegebenenfalls durch die weitere Maske (16), und Abscheiden des zweiten Quellmaterials in dem Bereich (11), wobei die zweite Materialquelle (7) in einer von der ersten Position abweichenden zweiten Position (22) relativ zum Substrat (10) angeordnet ist. Es können somit auch Materialien abgeschieden werden, die mit herkömmlichen Verfahren nicht selektiv abgeschieden werden können, beispielsweise ein magnetischer topologischer Isolator wie CrBiSbTe für Hall- oder Majorana-Bauelemente.

Anmelder

Firma

Forschungszentrum Jülich GmbH

Land

🇩🇪 Deutschland