Vorrichtung zur Bereitstellung von Elektrolytischer Schwefelsäure und Wasserersatzverfahren für Vorrichtung zur Bereitstellung von Elektrolytischer Schwefelsäure
Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4810664
- Anmeldetag
- 4. März 2026
- Veröffentlichung
- 23. September 2026
- Rechtsraum
- EP
Abstract
An electrolytic sulfuric acid supply apparatus includes a collection tank (TK1), a generation tank (TK2), a bidirectional pipe (71), a bidirectional first liquid feeder (72), an electrolytic circulator (6), a water supply (3), and a drain (4). The bidirectional pipe connects the collection tank and the generation tank. The first liquid feeder is disposed in the bidirectional pipe. The electrolytic circulator includes an electrolytic circulation pipe (61) connected to the generation tank and an electrolytic cell (65) disposed in the electrolytic circulation pipe. The water supply includes a water supply pipe (31) supplying water to the collection tank and a water supply valve (32). The drain includes a first drainage pipe (41) connected to the collection tank, a first drainage valve (42), a second drainage pipe (43) connected to the generation tank, and a second drainage valve (44).
Anmelder
- Firma
- SCREEN Holdings Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.
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