Strahlungsempfindliche Harzzusammensetzung, Strukturbildungsverfahren, Verfahren zur Herstellung einer Elektronischen Vorrichtung, Säureerzeugungsmittel, Verfahren zur Herstellung einer Verbindung, Verbindung und Säureerzeugungsverfahren
EP4811038
5. Juni 2025
Anmelder: Central Glass Company, Limited 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4811038
- Anmeldetag
- 25. November 2024
- Veröffentlichung
- 5. Juni 2025
- Rechtsraum
- EP
Abstract
A radiation-sensitive resin composition including an acid generator represented by General Formula (AG1). In General Formula (AG1), R<sup>1</sup> and R<sup>2</sup> each independently represent a fluorine atom or -OR, where R is a monovalent organic group, and A<sup>+</sup> is a counter cation. In addition, an acid generator represented by General Formula (AG1). In addition, a compound represented by General Formula (AG1).
Anmelder
- Firma
- Central Glass Company, Limited
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Central Glass
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das Flachglas, Spezialglas sowie Fluorchemikalien für Industrie und Bauwesen herstellt.
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