Verarbeitungsvorrichtung, Substratverarbeitungsvorrichtung, Verarbeitungsverfahren, Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements und Programm
Anmelder: Kokusai Electric Corp. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4818831
- Anmeldetag
- 19. März 2026
- Veröffentlichung
- 7. Oktober 2026
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G05B19/409, // G05B19/408
Abstract
It is possible to save storage capacity by reducing a file size of a recipe. There is provided a technique that includes: a display for a recipe constituted by steps including process conditions containing at least one item and at least one setting value therefor; a controller for: checking, for each step, a flag indicating whether a setting value is to be stored; and when a flag in a specified step is set to be valid, comparing a setting value in the specified step with a setting value in a most recent preceding step whose flag is set to be valid; and switching the flag in the specified step to invalid when it is equal to the setting value in the most recent preceding step; and a first memory storing at least an item and a setting value therefor in a step whose flag is set to be valid.
Anmelder
- Firma
- Kokusai Electric Corp.
- Land
- 🇯🇵 Japan
Kokusai Electric ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Schwerpunkt Wärmebehandlungssysteme. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.
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Fachgebiete
Münchner Patentanwalt Thomas Verscht, Diplom-Physiker, berät zu Patenten, Marken und Designs für nationale und internationale Mandanten.