Verfahren zur Herstellung eines Elektronischen Bauelements mit einer Praseodymoxid-Schicht

WO2004030068 Art A1 8. April 2004

Anmelder: IHP GmbH - Innovations for High Performance Microelectronics/Institut für innovative Mikroelektronik, Technische Universität Darmstadt 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004030068
Aktenzeichen: EP03748060
Anmeldetag: 18. September 2003
Veröffentlichung: 8. April 2004
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/311H01L21/3213G03F7/42

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: IHP GmbH - Innovations for High Performance Microelectronics/Institut für innovative Mikroelektronik
Technische Universität Darmstadt
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Technische Universität Darmstadt

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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