Beleuchtungseinrichtung für eine Mikrolithographie-Projektionsbelichtungs-Anlage

WO2004040378 Art A2 13. Mai 2004

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004040378
Aktenzeichen: EP03809722
Anmeldetag: 4. Oktober 2003
Veröffentlichung: 13. Mai 2004
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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