Polarization-optimized axicon system, and an illuminating system for microlithographic projection system having such an axicon system

WO2004102230 Art A1 25. November 2004

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004102230
Aktenzeichen: EP03816955
Anmeldetag: 29. August 2003
Veröffentlichung: 25. November 2004
Rechtsraum: WO
IPC: G02B5/00G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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